Перейти к основному контенту Перейти к главному меню навигации Перейти к нижнему колонтитулу сайта
Вестник КазНПУ имени Абая, Серия «Физико-математические науки»

СЕЛЕКТИВНЫЙ АММИАЧНЫЙ СЕНСОР НА ОСНОВЕ ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ ПОРИСТЫЙ КРЕМНИЙ - ОКСИД ВОЛЬФРАМА

Опубликован 04-2024
Казахский национальный университет им. аль-Фараби, г. Алматы
##plugins.generic.jatsParser.article.authorBio##
×

М. Ибраимов

заведующий кафедрой физики твердого тела и нелинейной физики, PhD, и.о.профессора

Казахский национальный университет им. аль-Фараби, г. Алматы
##plugins.generic.jatsParser.article.authorBio##
×

Б. Ханиев

PhD, старший преподаватель кафедры физики твердого тла и нелинейной физики 

Казахский национальный университет им. аль-Фараби, г. Алматы
##plugins.generic.jatsParser.article.authorBio##
×

Т Дуйсебаев

старший преподаватель кафедры физики твердого тла и нелинейной физики

Казахский национальный университет им. аль-Фараби, г. Алматы
##plugins.generic.jatsParser.article.authorBio##
×

А. Тілеу

преподаватель кафедры физики твердого тла и нелинейной физики


Казахский национальный университет им. аль-Фараби, г. Алматы
##plugins.generic.jatsParser.article.authorBio##
×

Д Әлмен

преподаватель кафедры физики твердого тла и нелинейной физики

Аннотация

В данной работе  был изготовлен газовый сенсор на основе гетероструктурного материала, состоящего из пористого кремния (ПК) и оксида вольфрама (WO3). ПК был получен методом  электрохимического травления, а гетероструктурный материал ПК/ WO3 методом магнетронного распыления. Были исследованы электрические и морфологические характеристики полученного гетероструктурного материала и его чувствительность к различным газам. Экспериментальные работы показали, что среди нескольких видов газа, полученных в качестве пробы, указанный газовый сенсор обладает высокой чувствительностью к молекулам аммиака, соответственно исследуемый материал может быть использован в качестве селективного сенсора аммиака.

Язык

Рус

Как цитировать

[1]
Ибраимов, М., Ханиев, Б., Дуйсебаев, Т., Тілеу, А. и Әлмен, Д. 2024. СЕЛЕКТИВНЫЙ АММИАЧНЫЙ СЕНСОР НА ОСНОВЕ ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ ПОРИСТЫЙ КРЕМНИЙ - ОКСИД ВОЛЬФРАМА. Вестник КазНПУ имени Абая, Серия «Физико-математические науки». 85, 1 (апр. 2024). DOI:https://doi.org/10.51889/2959-5894.2024.85.1.007.