Бұл жұмыста кеуекті кремний мен вольфрам оксидінен тұратын гетероструктуралық материал негізінде газ датчигі жасалды. Кеуекті кремний электрохимиялық ою арқылы, ал кеуекті кремний/WO3 материал магнетронды шашырату арқылы алынды. Алынған материалдың электрлік және морфологиялық сипаттамалары және оның әртүрлі газдарға сезімталдығы зерттелді. Эксперименттік жұмыс үлгі ретінде алынған газдың бірнеше түрлерінің ішінде көрсетілген газ датчигі аммиак молекулаларына жоғары сезімталдыққа ие екенін көрсетті, сәйкесінше зерттелетін материалды аммиактың селективті сенсоры ретінде пайдалануға болады.
КЕУЕКТІ КРЕМНИЙ - ВОЛЬФРАМ ОКСИДТІК ГЕТЕРОҚҰРЫЛЫМҒА НЕГІЗДЕЛГЕН СЕЛЕКТИВТІ АММИАК ГАЗ СЕНСОРЫ
Жарияланған 03-2024
Аңдатпа
Тіл
Рус
Кілтті сөздер
шалаөткізгіш
гетероқұрылым
кеуекті кремний
вольфрам оксиді
газ датчигі
аммиак
электрохимиялық жеміру
магнетронды тозңдату
Дәйексөздерді қалай жазу керек
[1]
Ибраимов, М., Ханиев, Б., Дуйсебаев, Т., Тілеу, А. і Әлмен, Д. 2024. КЕУЕКТІ КРЕМНИЙ - ВОЛЬФРАМ ОКСИДТІК ГЕТЕРОҚҰРЫЛЫМҒА НЕГІЗДЕЛГЕН СЕЛЕКТИВТІ АММИАК ГАЗ СЕНСОРЫ. Абай атындағы ҚазҰПУ Хабаршысы, «Физика-математика ғылымдары» сериясы. 85, 1 (Бер 2024), 72–79. DOI:https://doi.org/10.51889/2959-5894.2024.85.1.007.