В данной работе был изготовлен газовый сенсор на основе гетероструктурного материала, состоящего из пористого кремния (ПК) и оксида вольфрама (WO3). ПК был получен методом электрохимического травления, а гетероструктурный материал ПК/ WO3 методом магнетронного распыления. Были исследованы электрические и морфологические характеристики полученного гетероструктурного материала и его чувствительность к различным газам. Экспериментальные работы показали, что среди нескольких видов газа, полученных в качестве пробы, указанный газовый сенсор обладает высокой чувствительностью к молекулам аммиака, соответственно исследуемый материал может быть использован в качестве селективного сенсора аммиака.
СЕЛЕКТИВНЫЙ АММИАЧНЫЙ СЕНСОР НА ОСНОВЕ ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ ПОРИСТЫЙ КРЕМНИЙ - ОКСИД ВОЛЬФРАМА
Опубликован March 2024
82
85
Аннотация
Язык
Русский
Как цитировать
[1]
Ибраимов, М., Ханиев, Б., Дуйсебаев, Т., Тілеу, А. и Әлмен, Д. 2024. СЕЛЕКТИВНЫЙ АММИАЧНЫЙ СЕНСОР НА ОСНОВЕ ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ ПОРИСТЫЙ КРЕМНИЙ - ОКСИД ВОЛЬФРАМА. Вестник КазНПУ имени Абая. Серия: Физико-математические науки. 85, 1 (мар. 2024), 72–79. DOI:https://doi.org/10.51889/2959-5894.2024.85.1.007.