В данной работе приводятся возможности устройства "Сканирующий мульти-микроскоп СММ-2000", как одного из наиболее современных методов измерения характеристик материалов и диагностика особенностей малоразмерных систем. «Сканирующий мульти-микроскоп СММ-2000» предназначен для измерений геометрических и физических параметров топографии поверхности образцов с нанометровым пространственным разрешением. Кратко изложен принцип работы устройства и представлены параметры ручной и автоматической настроек. На примере сканирования образца № 2 – золото на слюде продемонстрированы графические результаты, которые показывают секционный анализ для выделенной области кадра, также показаны результаты параметров шероховатости поверхности выделенной области. Описана возможность проведения Фурьеанализа, морфологического анализа, корреляционного анализа, фрактального анализа, и др.