Бұл жұмыста материалдардың сипаттамаларын өлшеудің және шағын өлшемді жүйелердің ерекшеліктерін диагностикалаудың ең заманауи әдістерінің бірі ретінде СММ-2000 сканерлеу мульти-микроскопы құрылғысының мүмкіндіктері келтірілген. "Сканерлеуші мульти-микроскоп СММ-2000" нанометрлік кеңістіктік өлшемді үлгілердің беткі қабатының топографиясының геометриялық және физикалық параметрлерін өлшеуге арналған. Құрылғының жұмыс принципі қысқаша сипатталған және қолмен және автоматты түрде орындалатын параметрлер көрсетілген. №2 Слюдадағы алтын үлгіні сканерлеу мысалында графикалық нәтижелер көрсетілген, олар таңдалған аймақ бөлігіне жүргізілген секциялық талдауды, сонымен қатар таңдалған аймақтың бетінің кедір-бұдырлық параметрлерінің нәтижелерін көрсетеді. Фурье-талдау, морфологиялық талдау, корреляциялық талдау, фракталдық талдау және т. б. жүргізу мүмкіндігі сипатталған.